Une solution intégrale
L’enregistreur personnalisé et sa protection thermique sont simplement placés à l’intérieur du transporteur de cellule. Cette conception permet au système d’occuper l’un des emplacements de 156 mm destiné aux cellules. Il n’est donc pas nécessaire de modifier le transporteur. Le système parcourt l’intégralité du processus alors que les champs de plasma sont activés et fournit en fin de processus les profils de température, qui peuvent ensuite être téléchargés et analysés. Le système a été spécialement conçu pour résister aux environnements thermiques et électriques rencontrés dans la chambre à plasma et peut être utilisé de façon répétée pour le contrôle ainsi que la mise en place du processus.
Enregistreur de données Datapaq DP5
Les différents enregistreurs Datapaq DP5 ont été conçus pour des procédés de durées d’acquisitions rapides ou moyennes. L’accent a été mis sur une faible épaisseur, une fréquence d’échantillonnage élevée et un coût d’utilisation réduit. Ce dernier a pu être obtenu grâce à l’intégration de câbles de communication et de recharge standardisés. Tous les enregistreurs Datapaq DP5 utilisent une batterie NiMH, remplaçable par l’utilisateur, puissante, pratique et économique.
