Después del proceso de pulido, las obleas se graban con sus respectivos diseños de circuitos antes de pasar por el proceso de deposición química de vapor (CVD). Aquí, la oblea se coloca en una cámara de gas y se calienta continuamente de varias maneras, dependiendo de la instalación.
A medida que el reactivo gaseoso se hornea en la superficie de la oblea, la temperatura es fundamental para el producto final de la oblea. Durante este proceso, se puede colocar un sensor fijo fuera de la cámara de gas para tomar continuamente la temperatura de la oblea, asegurando que nada dañe la oblea.
