La cámara de reacción de epitaxia de haz molecular, que consta de una fuente de calentamiento y un mecanismo de rotación, también se compone de células de derrame ubicadas en la parte inferior de la cámara. Estas células contienen diferentes elementos (en forma sólida ultrapura) que se utilizan en la síntesis de película delgada; Sin embargo, estas celdas también requieren su propia fuente de calor para garantizar que la celda alcance la temperatura adecuada.
A continuación, se disparan haces de moléculas en forma de vapor físico al producto desde las células de efusión. Esto se controla abriendo y cerrando un mecanismo de obturador que cubre cada celda de efusión. Una vez que las moléculas se cuecen, se acumulan en el producto para crear una fina capa de película. Aquí, el producto se rota para lograr uniformidad, lo que da como resultado un crecimiento complejo de un solo cristal.
Una vez que el crecimiento del cristal se ha recubierto adecuadamente, se calienta y se mantiene en un punto de ajuste estático. Debido a que el producto es fijo, aunque giratorio, un sensor sensor infrarrojo es una solución sin contacto que puede ayudar a garantizar que el producto final se haya calentado adecuadamente.
