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SolarPaq  Thermal Profiling System

Recubrimiento Anti Reflectivo y Deposición de Película Delgada

El recubrimiento del vidrio en procesos de deposición al vacío es utilizado para crear paneles solares de película delgada. En procesos PECVD el Nitruro de Silicio es utilizado para recubrir celdas solares de silicio para crear una capa anti reflejante.

Aplicación 

Medir la uniformidad de la temperatura en el proceso es esencial para lograr el mejor rendimiento. El reto es medir la temperatura del sustrato, a medida que es recubierto y encerrado dentro de una cámara al vacío.

Beneficios al cliente 
  • Mida la uniformidad de la temperatura en el producto a través de las cámaras del proceso
  • Optimice el proceso por medio de la reducción del costo de energía y/o incrementando el rendimiento
  • Diagnostique el proceso de manera rápida y sencilla
  • Rastree la estabilidad del proceso
Sistemas de perfilado de temperatura
  • Diseño innovador que utiliza placas reflectivas para evitar la desgasificación – ideal para procesos al vacío
  • Diseñado para ser utilizado aún con el plasma activado, de modo que mida las condiciones reales del proceso
  • Variedad de soluciones que trabajan hasta 600 °C en aplicaciones con alto vacío

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