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SolarPaq  Thermal Profiling System

Antireflexbeschichtung und Dünnschichttechnik

Zur Produktion von Dünnschicht-Solarzellen wird Glas im Vakuum beschichtet. Bei der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) wird Siliziumnitrit genutzt, um eine Antireflexschicht auf Silizium-Solarzellen aufzubringen.

Anwendung benötigt 

Die Kontrolle der Temperaturgleichmäßigkeit des Prozesses ist für einen optimalen Durchsatz unverzichtbar. Die Herausforderung besteht darin, die Temperatur des beschichteten und in der Vakuumkammer eingeschlossenen Substrats zu messen.

Wie können wir Ihnen helfen? 
  • Kontrolle der gleichmäßigen Produkttemperatur in den Prozesskammern.
  • Prozessoptimierung durch Senkung der Energiekosten und Steigerung des Durchsatzes.
  • Schnelle und mühelose Fehlerdiagnose am Prozess.
  • Kontrolle der Prozessstabilität.
Temperaturprofilsysteme
  • Innovatives Design nutzt reflektiv dass kein Ausgasen eintritt, womit sich das System für Vakuumprozesse anbietet.
  • Selbst für den Einsatz mit aktiviertem Plasma geeignet, so dass die tatsächlichen Prozessbedingungen erfasst werden.
  • Ausführungen bis 600 °C für Hochvakuum-Anwendungen.

Erfahren Sie mehr über die Lösungen von Fluke Process Instruments für diese Anwendung