Antireflexbeschichtung und Dünnschichttechnik
Zur Produktion von Dünnschicht-Solarzellen wird Glas im Vakuum beschichtet. Bei der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) wird Siliziumnitrit genutzt, um eine Antireflexschicht auf Silizium-Solarzellen aufzubringen.
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Anwendung
Die Kontrolle der Temperaturgleichmäßigkeit des Prozesses ist für einen optimalen Durchsatz unverzichtbar. Die Herausforderung besteht darin, die Temperatur des beschichteten und in der Vakuumkammer eingeschlossenen Substrats zu messen.
Wie können wir Ihnen helfen?
- Kontrolle der gleichmäßigen Produkttemperatur in den Prozesskammern.
- Prozessoptimierung durch Senkung der Energiekosten und Steigerung des Durchsatzes.
- Schnelle und mühelose Fehlerdiagnose am Prozess.
- Kontrolle der Prozessstabilität.
Temperaturprofilsysteme
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