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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)

Die Temperaturprofilierungslösung für PVD-Prozesse

Thermal Profiling System for Physical Vapor Deposition

Speziell für die PVD-Überwachung entwickelt

  • Genaues und effizientes Validieren neuer Produkte und Beschichtungen
  • Überprüfen der Einhaltung von Aushärtungsspezifikationen
  • Sofortiges Aufzeigen von Ofenproblemen und Nutzung der Daten für Abhilfemaßnahmen
  • Überblick
  • Technische Daten
  • Anwendungen
  • Ressourcen

Das Datapaq Oven-Tracker System zur Temperaturprofilmessung misst und analysiert Temperaturdaten, die zur Überwachung und Optimierung Ihres PVD-Prozesses (physikalische Abscheidung aus der Gasphase) benötigt werden. Das Datapaq Oven-Tracker System kann den widrigen Bedingungen von Vakuumöfen standhalten und gleichzeitig während des Prozesses eine saubere Umgebung aufrechterhalten.

Datenlogger Datapaq TP6

Datapaq TP6 ist die perfekte Lösung für die anspruchsvollsten Hochtemperatur-Profilierungsanwendungen. Dieses System wird direkt im Ofen montiert und misst die Oberfläche von bis zu 10 Thermoelementen, die am Produkt angebracht sind.

  • Wasserdicht (Schutzart IP67)
  • Kommunikation über USB oder Bluetooth
  • Stromversorgung mit Alkali-Batterien, NiMH- oder Lithium-Akkus
  • Kompatibel mit Datapaq Insight für die mobile Anwendung

Hitzeschutzbehälter

Unser Angebot an Hitzeschutzbehältern bietet sichere und kontaminationsfreie Optionen für Ihren PVD-Prozess, während ihr robustes Edelstahlgehäuse mit hoher thermischer Masse thermische Schäden in anspruchsvollen Umgebungen verhindert.

Oven Tracker Insight Analysesoftware

Die Oven Tracker® Insight™ Analysesoftware ermöglicht eine umfassende Datenprüfung, Analyse und Berichterstellung. Mit dem Prozessoptimierungs-Tool können Sie die Auswirkungen von Profildatenänderungen auf die Gesamtleistung des Profils mit Hilfe der DatapaqValue-Analyse theoretisch vorhersagen. Die Auswahl von Prozessparametern ist nicht mehr mit viel Aufwand verbunden, und es sind weniger Validierungsläufe nach dem Prinzip „Versuch und Irrtum" erforderlich. Die Funktionen der Datapaq Insight Software umfassen:

  • Datapaq Value, Referenz- und Toleranzkurven
  • SPC (Statistische Prozesskontrolle)
  • Analyse der Alarme
  • Umfassende Berichterstattung, direkte Kommunikation per E-Mail

Datenlogger Datapaq TP6

Modellnummer
TP6
Kanäle 
 10
Temperaturmessbereich
-100 bis 1370 °C
Abhängig vom Thermoelementtyp (Typ K gezeigt)
Anschlüsse
USB oder Bluetooth*
Speicherkapazität
4 Millionen Datenpunkte
Start/Stopp-Auslösung
Keine (automatisch), manuell, steigende/fallende Temperatur und zeitbasiert
Messtakt
0,2 s – 50 min ohne Telemetrie
2 s – 50 min mit HF-Telemetrie*
Genauigkeit 
± 0,3 °C – Typ K
Auflösung
± 0,1 °C
Thermoelementtyp
Typ K (J,N,T,R,S,B sind verfügbar)
Fähigkeit zum Mehrfachdurchlauf
Bis zu 10 Profildurchläufe vor der Rückkehr zum PC

*Erkundigen Sie sich bei Fluke Process Instruments nach der Verfügbarkeit von HF-Telemetrie und Bluetooth in Ihrem Land.

 

Hitzeschutzbehälter TB5014

Modell
TB5014
Aufbau
Versiegelte Frontplatte aus Edelstahl
Gewicht
7,8 kg
Abmessungen
100 x 146 x 303 mm
Kühlkörper
KühlkörperTB1001 × 2
Thermische Dauer
6 Std. @ 150ºC
4 Std. @ 200ºC
Max. Betriebstemperatur
300ºC

 

Thermoelement

Thermoelement, mineralisoliert, Typ K, 1,6 mm Durchmesser, Nicrobell Mantel

  • PA0710 - 1,0 m
  • PA0711 - 2,0 m

PVD Coating Applications

Die physikalische Abscheidung aus der Gasphase (Physical Vapor Deposition, PVD) ist ein Hightech-Beschichtungsverfahren, das bei der Herstellung von hochwertigen Konsumgütern, Schmuck und medizinischen Produkten genutzt wird. Im Rahmen des PVD-Verfahrens ist es von entscheidender Bedeutung, dass die Temperatur der Vakuumkammer sorgfältig kontrolliert wird und auch die Produktoberfläche auf einer bestimmten Temperatur gehalten wird.

Mit dem Datapaq Oven Tracker System können Sie die Temperaturen in der Vakuumkammer überwachen, um eine korrekte Haftung der Oberflächenbeschichtung zu gewährleisten. Dieses System ermöglicht auch die Optimierung der Ofensolltemperaturen und Prozessparameter, um den Durchsatz zu maximieren und die Betriebskosten zu senken. Außerdem erleichtert es die schnelle und sichere Einführung neuer Designs und Materialien durch die genaue Kontrolle der Erwärmungseigenschaften.

Produktliteratur: 

PaqFile Viewer

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