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SolarPaq  Thermal Profiling System
Temperature Monitoring in Silicon Processing
太陽電池および半導体
高精度な測定結果を繰り返し得ることで、シリコンの加工を最適化
全ての太陽電池セルについて適切な乾燥処理が行われてることをモニタリングして製品仕上げの効率を最適化
炉の性能の変化をすぐにグラフ化して、ダウンタイムを削減
炉のセットアップや調整で時間とコストを節約
歩留まりを犠牲にすることなく加工セルの効率とスループットを最大化

ラミネート加工は、シリコン結晶による薄い太陽光パネルの製造において、その最終工程となる重要なステップです。複数のパネルを同時にプレス・加熱する半バッチ式プロセスとして、メンブレン式やプレス式によるラミネート装置で行われます。

電極の乾燥・焼成プロセスは、短時間の高温プロセスとして、シリコン製太陽電池セルの上面と下面に電極を焼成します。

電極の乾燥は、短時間の中温プロセスとして、シリコン製の太陽電池セルにスクリーン印刷された金属ペーストを乾燥します。スタンドアローンの乾燥機や乾燥/加熱の複合炉で行うことがあります。

薄膜太陽電池パネルの製作には真空蒸着プロセスによるガラスのコーティングが用いられます。またシリコン太陽電池セルに反射防止層を生成するコーティングにはプラズマCVDによる窒化シリコンが利用されています。

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