反射防止膜の成膜&薄膜蒸着
薄膜太陽電池パネルの製作には真空蒸着プロセスによるガラスのコーティングが用いられます。またシリコン太陽電池セルに反射防止層を生成するコーティングにはプラズマCVDによる窒化シリコンが利用されています。
- 概要
- 注目のソリューション
アプリケーションに必要なのは
プロセスの温度の均一性を測定することが、最大限のスループットを実現するうえで欠かせません。課題は、コーティングを施す基材の温度を閉じた真空チャンバ内で測定することです。
お客様のメリットは
- 処理チャンバ全体にわたって製品温度の均一性を測定
- エネルギーコストを削減しつつスループットを高めることでプロセスを最適化
- プロセスの不具合対応を迅速かつ容易に
- プロセスの安定性を監視
温度プロファイリング・システム