English | Deutsch | Español | Français | 简体中文

SolarPaq  Thermal Profiling System

反射防止膜の成膜&薄膜蒸着

薄膜太陽電池パネルの製作には真空蒸着プロセスによるガラスのコーティングが用いられます。またシリコン太陽電池セルに反射防止層を生成するコーティングにはプラズマCVDによる窒化シリコンが利用されています。

アプリケーションに必要なのは 

プロセスの温度の均一性を測定することが、最大限のスループットを実現するうえで欠かせません。課題は、コーティングを施す基材の温度を閉じた真空チャンバ内で測定することです。

お客様のメリットは 
  • 処理チャンバ全体にわたって製品温度の均一性を測定
  • エネルギーコストを削減しつつスループットを高めることでプロセスを最適化
  • プロセスの不具合対応を迅速かつ容易に
  • プロセスの安定性を監視
温度プロファイリング・システム
  • 反射板を活用した革新的設計で、ガス放出を排除―真空プロセスに最適
  • プラズマ励起のプロセスにも利用できる設計であり、実際のプロセス状態を測定可能
  • 最高600℃の高真空アプリケーションでも活用できる

このアプリケーションに対するソリューションを詳しく知りたい