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Temperature Profiling in Industrial Coatings

PVDコーティング

物理蒸着法(PVD)は、高度なコーティング手法として、宝飾品などの高級な消費者製品や医療用製品の製造に使われています。PVDコーティングは、真空チャンバ内で化学原料からではなく物理的原料から蒸着させた高硬度な薄膜コーティングです。そのコーティングプロセスでは、固体ターゲットから原子を叩き出し、イオンや中性粒子として製品表面へ高エネルギーに衝突させるというスパッタリングによって行います。なかでもマグネトロン・スパッタリングは、実質的にどんな材料へのコーティングにも利用できる非常に柔軟性の高い手法です。

  • 概要
  • 注目のソリューション
  • 関連情報
アプリケーションに必要なのは 

PVDプロセスの一環として、真空チャンバ内温度の慎重な制御に加え、製品表面も所定の温度に保つことが非常に重要です。これにより、表面仕上げの品質を保証し、製品の保護と見栄えを確実に実現します。

お客様のメリットは 
  • 真空チャンバの正確な温度制御により、表面コーティングの適切な密着を保証
  • 温度プロファイルの記録は、新しい製品やコーティングに対する高精度で効率的なプロセスのセットアップに活用可能
  • 必要な規制への準拠の一部として完全に検証済みのトレーサブルな温度プロファイル情報を取得すれば、プロセス制御の検証にも利用できる
温度プロファイリング・システム
  • PVDチャンバ内に設置可能なDatapaqシステムなら、熱電対の配線問題が解消
  • シール付きの高品質な耐熱ボックスにより、ガスの発生と真空チャンバへのコンタミネーションを防止
  • 無機絶縁(MI)プローブにより、高電圧環境でもノイズ無く測定

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