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Datapaq物理蒸着 (PVD) システム

PVDプロセス向け温度プロファイリングソリューション

Thermal Profiling System for Physical Vapor Deposition

PVDモニタリング向けに特化した開発

  • 新しい製品およびコーティングを正確かつ効率的に検証
  • プロセスがコーティング硬化仕様を満たしていることを確認
  • オーブンの問題を即座に強調し、データを用いて是正措置を実行
  • 概要
  • 技術仕様
  • アプリケーション
  • 関連情報

Datapaqオーブントラッカー温度プロファイリングシステムは、温度情報を収集および分析し、物理蒸着(PVD)プロセスを監視および改善します。Datapaqオーブントラッカーシステムは、プロセス中にきれいな環境を保ちながら、真空オーブン/炉などの厳しい条件下でも耐えられます。

データロガーDatapaq TP6

Datapaq TP6は、最も要求の高い、高温プロファイリングの用途に最適なソリューションです。このシステムは、オーブンに直接取り付けて、製品に付属している最大10個の熱電対から表面温度を測定します。

  • 防水性 (保護等級 IP67)
  • USB または Bluetooth による通信
  • アルカリ、NiMH、リチウム電池を選択可能
  • モバイル用途向け Datapaq Insight™ との互換性

耐熱ケース

当社の幅広い熱バリアは、PVDプロセスに安全かつ汚染のないオプションを提供しながら、高熱容量を持つ堅牢なステンレス鋼ケースが厳しい環境下で熱による破損を防ぎます。

Insightソフトウェア

Oven Tracker® Insight™分析ソフトウェアは、包括的なデータのレビュー、分析、レポートを実現します。 プロセス最適化ツールを使用してプロファイルデータの効果を理論的に予想することで、DatapaqValue分析を用いてプロファイルのパフォーマンス全体に変化をもたらします。 Datapaq Insightソフトウェアの特徴:

  • Datapaq Value、基準曲線および許容差曲線
  • SPC(統計的工程管理)
  • 分析アラーム
  • 包括的レポート、Eメールの直接通信

データロガーDatapaq TP6

モデル番号
TP6
チャンネル 
 10
温度レンジ
-100 ~ 1370°C
( 熱電対のタイプ K)
接続性
USB または Bluetooth*
メモリ容量
データポイント 400万件
トリガー 開始/停止
なし (自動)、マニュアル、温度上昇/降下、時間ベース
サンプリング間隔
テレメトリなしの場合 0.2 秒 ~ 50 分
RF テレメトリの場合 2 秒 ~ 50 分
精度  
± 0.3 °C (0.5 °F) – タイプ K
分解能
± 0.1°C
熱電対のタイプ
タイプ K (J、N、T、R、S、B が使用可能です)
マルチラン能力
PC へ戻る前に最大 10 件のプロファイルを実行します

*RF テレメトリおよび Bluetooth の使用可能性に関しては、各国の Fluke Process Instruments までお問い合わせください。

 

耐熱ケースTB5014

モデル番号
TB5014
構成
ステンレススチール製密閉フェイスプレート
重量
7,8 kg
寸法
100 x 146 x 303 mm
ヒートシンク
TB1001 × 2
熱持続時間
6 hrs @ 150ºC
4 hrs @ 200ºC
最大作動温度
300ºC

 

熱電対

熱電対、ミネラルウールによる断熱、タイプ K、1.6 mm、Nicrobell™ シース

  • PA0710 - 1.0 m
  • PA0711 - 2.0 m

PVD Coating Applications

物理蒸着(PVD)は、先端技術のコーティングアプリケーションであり、高級な消費者商品、ジュエリー、医療製品の製造で用いられます。PVDプロセスの一部として、真空チャンバーの温度が丁寧に制御されていること、および製品表面が指定の温度で維持されていることが非常に重要です。

Datapaqオーブントラッカーシステムにより、真空チャンバー内の温度を監視し、表面コーティングの正しい接着を保証できます。また、本システムはオーブンの設定温度およびプロセスのパラメータを最適化し、処理能力を最大化して運用コストを削減できます。また、加熱特性に対する精度の高いコントロールによって、迅速かつ確実な新規デザイン・材料の採用を円滑にします。

PaqFile Viewer

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